半導体産業分野における精密機器類の超精密化学洗浄業 株式会社リベロ技研
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株式会社リベロ技研の特色

 九州は、半導体産業が集積する地域的特性があります。私たちRIBEROスタッフは長崎県を中心として、最新技術に柔軟に対応する設備で、特殊な「半導体機器類・冶具類等超精密化学洗浄」を主とし、お客様のニーズに細やかなサービスをご提供いたしております。

■SUSパーツ類加工及び製作

●弊社工場では、お客様からの御要望により各工程用のSUSパーツ類及び配管・チューブ・フレキシブルチューブの改造・製作も 行っております。
■外注洗浄メリット
  1. コストダウン(人件費・薬液代・電力・水・廃液処理費・N2・etc)
  2. お客様の工場内クリーンルームスペースの活用(各種パーツ毎に洗浄機を置く必要がありません。それにより、クリーンルームの有効活用ができます。)
  3. 環境保護(お客様の工場からの廃液・排水・薬品等が低減出来ます)
注意)お客様との機密保持契約により、化学洗浄物の掲載は控えさせて頂いております。御社からの各種サンプル洗浄物がございましたら、ご遠慮なくご相談ください。


事業内容詳細

  • LP−CVD Quartz・SICパーツ洗浄
  • LP−CVD マニホールド関係SUSパーツ洗浄
  • ドライエッチャー部品(アルマイト品・Quartz・セラミックス・SUSパーツ)洗浄
  • CVD(SUSパーツ・アルミ製品)洗浄
  • LITHO Quartz・アニロックスロール・コーターカップ洗浄
  • PVD スパッタ治具洗浄
  • エピタキシャル装置内パーツ洗浄
  • 各種装置冷却ライン洗浄
  • 真空ポンプ洗浄
  • 排気配管洗浄
  • 装置内部パーツ製作
  • 配管及びチューブ類製作
  • パーツ電解研磨処理
  • パーツ各種メッキ及びアルマイト処理
  • インプラ工程SUSパーツ及びチューブ類洗浄
  • その他各種精密洗浄及び化学洗浄




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